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四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

簡要描述:四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GC-9560-PDD
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-04-09
  • 訪  問  量: 4074

詳細(xì)介紹

四氯硅烷分析氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。


硅(SiHCl3)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                   40025
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                   40025
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                         20050
金屬元素及其他元素含量(硼+鋁)(B+Al)含量/(µg/kg)                          ≤——0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg)                      ≤——0.3
鎵(Ga)含量/(µg/kg)                            ≤——0.5
銻(Sb)含量/(µg/kg)                               ≤——0.5
銦(In)含量/(µg/kg)                              ≤——0.5
鈣(Ca)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉻(Cr)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鐵(Fe)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉀(K)含量/(µg/kg)                                ≤10.5
鈉(Na)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鎳(Ni)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉬(Mo)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
錳(Mn) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
銅(Cu)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鎘(Cd) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鈷(Co)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鋅(Zn)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
釩(V)含量/(µg/kg)                                ≤10.5





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